射频电源是等离子体配套电源，它是由射频功率源、阻抗匹配器、阻抗功率计组成，是八十年代末期中国新兴的高科技领域，被广泛的应用于射频溅出，PECCD化学气相沉积，反应离子刻蚀等等设备中。SEREN射频电源被广泛的应用于半导体、美容等等领域。那么SEREN射频电源维修具体维修方法有哪些呢？
想要更好的进行SEREN射频电源维修就要深入的了解射频功率源相关的技术知识。首先要了解其主要技术性能射频源，有板极电压2001500V连续可调；板极电流小于等于0.36A；板极直流消耗功率小于等于0.58KW；输出功率6500W连续可调；频率13.56MHZ匹配箱有阻抗、手动调节网络参数以匹配。
其次就是对于SEREN射频电源维修几种故障的判断，1.在正常的工作时如果说发生跳闸现象，则说明直流电的部分出现了故障；2.其中的UA突然变大会极有可能导致电子管的损坏，而有UA无LA时候是驱动板有故障或者是高频插头接触不良。SEREN射频电源维修这种维修方法，UA接线断、表头上有UA而电子管上面没有；3.有UA\LA小无PF\PR。导致这些现象原因是连接射频源和匹配器或者功率计的电缆插头与插座接触不良或者根本没有接触上，SEREN射频电源维修用钳子或者镊子将插座芯向里面挟一下，再用酒精棉球将插头擦干净再插上。UALA较小有PF\PR但是较大调不下来不起辉。原因是匹配器输出电缆插头座之间接触不良，SEREN射频电源维修解决办法同样是使用钳子或者是镊子来向里面挟一下。4.UALA很大，原因是UGL无激励。5.射频功率源以及其它仪表的安装，射频功率源通常用于和等离子设备配套该设备除了主机以及射频源以外还有其它的真空仪表，若是安装不合理射频源会干扰。
看到以上的关于SEREN射频电源维修具体的维修方法大家是否觉得还是很简单的呢？其实SEREN射频电源维修找出来故障的原因才是困难的，作为操作者**要记住，当射频电源发生故障的时候千万不要自己上手去维修，因为其中的元件都是很小体积的，很容易弄丢，且错误的维修会导致更大的故障，因此操作者**要记住打电话叫凌科自动化工程师上门维修。此外，在打电话的时候**要说清楚射频电源的故障现象，以便于维修人员更好的判断故障，带上合适的维修工具。
